Τόπος καταγωγής:
Κίνα
Μάρκα:
KACISE
Πιστοποίηση:
CE
Αριθμό μοντέλου:
KGD-MQ-537
Ο αισθητήρας υπέρυθρων αερίων KGD-MQ-537 χρησιμοποιεί την τεχνολογία Non-Dispersive Infrared (NDIR) για τη μέτρηση με ακρίβεια αερίων συμπεριλαμβανομένων των SiF4, CF4, SF6, NF3 και CO2 σε εφαρμογές ημιαγωγών. Σχεδιασμένος με συμβατότητα για κοινές διαστάσεις εξοπλισμού, φλάντζες και πρωτόκολλα επικοινωνίας, αυτός ο αισθητήρας είναι ιδανικός για ανίχνευση τελικού σημείου σε διαδικασίες εναπόθεσης και καθαρισμού ημιαγωγών, καθώς και ανίχνευση τερματικού για καθαρισμό θαλάμου, συμβάλλοντας στη μείωση του χρόνου καθαρισμού, στη μείωση του κόστους και στην αύξηση της παραγωγής.
| Παράμετρος | Καθέκαστα |
|---|---|
| Αρχή ανίχνευσης | NDIR |
| Ανιχνευμένα αέρια | SiF4, CF4, SF6, NF3, CO2 |
| Εύρος μέτρησης | 1-264 σελ./λεπτό (0-200 mTorr) |
| Επαναληψιμότητα | ±0,5% |
| Γραμμικότητα | ±1% FS |
| Όριο ανίχνευσης | 1 σελ./λεπτό |
Στείλτε το αίτημά σας απευθείας σε εμάς