Τόπος καταγωγής:
Κίνα
Μάρκα:
KACISE
Πιστοποίηση:
CE
Αριθμό μοντέλου:
KGD-MQ-537
Ιδιότης | Αξία |
---|---|
Αρχή ανίχνευσης | Νυριές |
Ανιχνευμένα αέρια | SIF4, CF4, SF6, NF3, CO2 |
Εύρος μέτρησης | 1 - 264ppm (0 - 200mtorr) |
Επαναληψιμότητα | ± 0,5% |
Γραμμικότητα | ± 1%FS |
Όριο ανίχνευσης | 1ppm |
Ο αισθητήρας υπερύθρων αερίου KGD - MQ - 537 βασίζεται σε τεχνολογία μη διασπασμένης υπέρυθρης ακτινοβολίας (NDIR). Μπορεί να μετρήσει με ακρίβεια τα αέρια όπως SIF4, CF4, SF6, NF3 και CO2 που παράγονται σε εφαρμογές ημιαγωγών. Είναι συμβατό με κοινές προκαθορισμένες διαστάσεις, φλάντζες και πρωτόκολλα επικοινωνίας εντός του εξοπλισμού. Μπορεί να χρησιμοποιηθεί για ανίχνευση τελικού σημείου σε διαδικασίες εναπόθεσης και καθαρισμού ημιαγωγών, καθώς και ανίχνευση τερματικού για τον καθαρισμό του θαλάμου, συμβάλλοντας στη μείωση του χρόνου καθαρισμού, μειώνοντας το κόστος και αύξηση της παραγωγής.
Παράμετρος | Καθέκαστα |
---|---|
Αρχή ανίχνευσης | Νυριές |
Ανιχνευμένα αέρια | SIF4, CF4, SF6, NF3, CO2 |
Εύρος μέτρησης | 1 - 264ppm (0 - 200mtorr) |
Επαναληψιμότητα | ± 0,5% |
Γραμμικότητα | ± 1%FS |
Όριο ανίχνευσης | 1ppm |
Στείλτε το αίτημά σας απευθείας σε εμάς